偏振光成象1∶1折反射式光学系统; 偏振光成象1∶1折反射式光学系统 | |
邹海兴 ; 严琪华 | |
1995-03-24 | |
专利国别 | 中国 |
专利号 | ZL92108564.8 |
专利类型 | 发明 |
权利人 | 中国科学院上海光学精密机械研究所 |
中文摘要 | 本发明是一种偏振光成象1∶1折反射式光学系统。主要用于精细或超精细图形的照相复制。含有由偏振棱镜组构成的物象分离器件、消象差折射镜组和主反射镜三大部分,其中偏振棱镜组是由两个45°的直角棱镜以斜面胶合在一起的立方体,立方体内含有起偏器和检偏器,在主反射镜的反射面上置有λ/4波片膜。该发明的光学系统具有大面积可利用的工作视场,又具有没有杂光影响,象面对比度高的优点。 |
公开日期 | 2011-07-14 ; 2011-07-15 |
申请日期 | 1992-09-23 |
收录类别 | 专利 |
语种 | 中文 |
专利申请号 | CN92108564.8 |
内容类型 | 专利 |
源URL | [http://ir.siom.ac.cn/handle/181231/10378] |
专题 | 上海光学精密机械研究所_其他 |
推荐引用方式 GB/T 7714 | 邹海兴,严琪华. 偏振光成象1∶1折反射式光学系统, 偏振光成象1∶1折反射式光学系统. ZL92108564.8. 1995-03-24. |
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