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	Three-dimensional surface inspection for semiconductor components with fringe projection profilometry (CPCI-S收录)
	Deng, Fuqin[1]; Ding, Yi[2]; Peng, Kai[2]; Xi, Jiangtao[3]; Yin, Yongkai[4]; Zhu, Ziqi[5,6]
URL标识	查看原文
内容类型	会议
URI标识	http://www.corc.org.cn/handle/1471x/2037853
专题	华南理工大学
推荐引用方式 GB/T 7714	Deng, Fuqin[1],Ding, Yi[2],Peng, Kai[2],等.Three-dimensional surface inspection for semiconductor components with fringe projection profilometry (CPCI-S收录).

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