钼基氮化物复合硬质薄膜及其制备方法

	钼基氮化物复合硬质薄膜及其制备方法; 钼基氮化物复合硬质薄膜及其制备方法; 钼基氮化物复合硬质薄膜及其制备方法; 钼基氮化物复合硬质薄膜及其制备方法
	方前锋
	2008
专利国别	中国
专利号	cn101244644
专利类型	发明
权利人	中国科学院合肥研究院
是否PCT专利	是
学科主题	新型功能材料与固体内耗
公开日期	2009-11-10 ; 2009-11-10
申请日期	2007
专利申请号	cn200710020151
内容类型	专利
源URL	[http://ir.hfcas.ac.cn/handle/334002/1768]
专题	合肥物质科学研究院_中科院固体物理研究所
推荐引用方式 GB/T 7714	方前锋. 钼基氮化物复合硬质薄膜及其制备方法, 钼基氮化物复合硬质薄膜及其制备方法, 钼基氮化物复合硬质薄膜及其制备方法, 钼基氮化物复合硬质薄膜及其制备方法. cn101244644. 2008-01-01.