| Two-dimensional particle-in-cell plasma source ion implantation of a prolate spheroid target | |
| Liu CS(刘成森); Han HY(韩宏颖); Peng XQ(彭晓晴); Chang Y(昶叶); Wang DZ(王德真) | |
| 刊名 | 中国物理：英文版
 |
| 2010 | |
| 卷号 | 第19卷页码:363-366 |
| 关键词 | 等离子体源离子注入 旋转椭球体 细胞 粒子 二维 等离子体鞘 非均匀分布 等高线 |
| ISSN号 | 1009-1963 |
| URL标识 | 查看原文 |
| 内容类型 | 期刊论文 |
| URI标识 | http://www.corc.org.cn/handle/1471x/1981392 |
| 专题 | 辽宁师范大学 |
| 作者单位 | College of Physics and Electronic Technology Liaoning Normal University Dalian China State Key Laboratory for Materials Modification by Laser Ion and Electron Beams School of Physics and Optoelectronic Technology Dalian University of Technology Dalian China |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | Liu CS,Han HY,Peng XQ,et al. Two-dimensional particle-in-cell plasma source ion implantation of a prolate spheroid target[J]. 中国物理：英文版,2010,第19卷:363-366. |
| APA | Liu CS,Han HY,Peng XQ,Chang Y,&Wang DZ.(2010).Two-dimensional particle-in-cell plasma source ion implantation of a prolate spheroid target.中国物理：英文版,第19卷,363-366. |
| MLA | Liu CS,et al."Two-dimensional particle-in-cell plasma source ion implantation of a prolate spheroid target".中国物理：英文版 第19卷(2010):363-366. |
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