| 数字灰度光刻成像物镜设计 | |
| 陈铭勇; 杜惊雷; 郭小伟; 马延琴; 王景全 | |
| 刊名 | 光子学报
 |
| 2009 | |
| 卷号 | 第1期页码:P120-124 |
| 关键词 | 无掩模光刻 反射光调制器件 光刻物镜 光学设计 |
| ISSN号 | 1004-4213 |
| URL标识 | 查看原文 |
| 内容类型 | 期刊论文 |
| URI标识 | http://www.corc.org.cn/handle/1471x/1873583 |
| 专题 | 四川大学 |
| 作者单位 | 四川大学,纳米光子技术研究所 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 陈铭勇,杜惊雷,郭小伟,等. 数字灰度光刻成像物镜设计[J]. 光子学报,2009,第1期:P120-124. |
| APA | 陈铭勇,杜惊雷,郭小伟,马延琴,&王景全.(2009).数字灰度光刻成像物镜设计.光子学报,第1期,P120-124. |
| MLA | 陈铭勇,et al."数字灰度光刻成像物镜设计".光子学报 第1期(2009):P120-124. |
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