一种TiN/Ti/Si/Ti多层耐磨耐蚀薄膜材料及其制备方法

	一种TiN/Ti/Si/Ti多层耐磨耐蚀薄膜材料及其制备方法
	翁立军; 伏彦龙; 刘维民; 王德生; 胡明; 杨军; 孙嘉奕; 姜栋; 高晓明
	2017-04-26
著作权人	中国科学院兰州化学物理研究所
专利号	201310544722.9
国家	中国
文献子类	发明
学科主题	材料科学与物理化学
公开日期	2015-05-20
申请日期	2013-11-07
资助项目	PVD润滑薄膜研究组;空间润滑材料研究组
语种	中文
状态	授权
内容类型	专利
源URL	[http://ir.licp.ac.cn/handle/362003/22910]
专题	兰州化学物理研究所_先进润滑与防护材料研究发展中心兰州化学物理研究所_固体润滑国家重点实验室
作者单位	中国科学院兰州化学物理研究所
推荐引用方式 GB/T 7714	翁立军,伏彦龙,刘维民,等. 一种TiN/Ti/Si/Ti多层耐磨耐蚀薄膜材料及其制备方法. 201310544722.9. 2017-04-26.