| 题名 | 航天遥感用InGaAs线列红外焦平面的研究 |
| 作者 | 吕衍秋 |
| 答辩日期 | 2007-01-17 |
| 文献子类 | 博士 |
| 授予单位 | 中国科学院研究生院 |
| 导师 | 龚海梅 |
| 关键词 | 铟镓砷 短波红外探测器 焦平面 钝化 扫描成像 |
| 学位专业 | 微电子学与固体电子学 |
| 英文摘要 | 本论文主要对InGaAs台面线列探测器和焦平面制备的关键工艺和技术进行研究。用XRD、红外透射谱、电化学C-V法对InGaAs外延材料性质进行了表征。首次用微波反射光电导衰减法测量InGaAs层的少子寿命，来评价InGaAs吸收层的均匀性，并研究了温度对寿命的影响。采用Ar＋刻蚀和湿法化学腐蚀相结合制作台面，提高了光敏面的图形保真度，减小了刻蚀损伤。研究了Ar+刻蚀对InGaAs、n-InP和p-InP的表面损伤，采用湿法腐蚀后处理来消除刻蚀损伤。研究了钝化膜的性质及六种钝化方式的钝化效果。p-InP与Ti/Pt/Au接触电阻随着退火温度的升高和退火时间的增长而变大。分析认为退火后，接触层以TiIn化合物为主，增加了接触电阻。设计了新的外延结构，可以在不退火的情况下同时实现p电极和n电极的欧姆接触。为了满足航天遥感的应用，分别用研究了InGaAs探测器相邻元串音和有效光敏感区、不同偏压和温度下的低频噪声、抗电子辐照特性。国内首次制备了128*1和256*1 InGaAs台面线列焦平面。探测器平均峰值探测率分别为1.03*10^12cmHz^1/2W^-1和1.33*10^12cmHz^1/2W^-1，并配合演示系统成功实现了256*1 InGaAs线列焦平面室温扫描成像。分析了产生不均匀性的原因，并测试了积分时间和温度对焦平面非均匀性的影响。该研究为航天遥感用InGaAs线列焦平面的研制奠定了重要技术基础。 |
| 学科主题 | 红外探测材料与器件 |
| 公开日期 | 2012-08-14 |
| 内容类型 | 学位论文 |
| 源URL | [http://202.127.1.142/handle/181331/4668]  |
| 专题 | 上海技术物理研究所_上海技物所 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 吕衍秋. 航天遥感用InGaAs线列红外焦平面的研究[D]. 中国科学院研究生院. 2007. |
| 个性服务 |
| 查看访问统计 |
| 相关权益政策 |
| 暂无数据 |
| 收藏/分享 |
除非特别说明，本系统中所有内容都受版权保护，并保留所有权利。
修改评论