| 题名 | 氮化镓光导器件及其相关研究 |
| 作者 | 许金通 |
| 答辩日期 | 2005-06-09 |
| 文献子类 | 硕士 |
| 授予单位 | 中国科学院研究生院 |
| 导师 | 李向阳 |
| 关键词 | 氮化镓 紫外探测器 持续光电导 |
| 学位专业 | 凝聚态物理 |
| 英文摘要 | 氮化镓作为一种新型宽禁带半导体材料，在发光二极管、场效应晶体管、紫外探测器等方面均取得了重大进展,有些已经达到了实用化的水平。虽然氮化镓基紫外探测器也成为目前的研究热点之一，但是还有很多基础问题需要研究。通过对光电导型紫外探测器件的研究，有助于人们更深地理解氮化镓材料以及以之为基础制备的各种器件的工作性能。其中，持续光电导现象作为宽禁带半导体光导器件中普遍存在的特性，对它的研究有利于加深对宽禁带半导体中深能级以及光电特别是光生少子-俘获中心相互作用机制的理解。本文的主要工作集中在对氮化镓光电导器件的制备和测试，包括搭建测试系统和完成各种条件下的测试，重点开展了对持续光电导现象的研究。 论文主要分四个部分，第一章主要介绍氮化镓材料一般的生长方法、基本性质以及历史上一些关键的突破；第二章主要从半导体光导器件的一般理论出发，进行了紫外光导器件的理论计算，并详细介绍了制作N型和P型氮化镓光导器件的具体工艺过程；第三章主要介绍氮化镓光导器件的测试，包括响应光谱测试、持续光电导测试、不同紫外光照强度下响应时间的测试、P型氮化镓光导器件的变温I-V测试，其中重点对持续光电导现象进行了测试和解释，并在实验中首次发现了N型氮化镓光导器件的持续光电导效应在大电流作用下的迅速消退现象——“淬灭”现象，并进行了系统的测试，最后利用电流的热效应导致样品温度升高的机制，初步解释了该现象；第四章主要介绍化学处理对P型氮化镓表面的影响，主要采用X射线光电子能谱对不同化学处理的P型氮化镓表面进行了测试分析，期望对不同化学处理的效果进行评价，并为以后的P型氮化镓欧姆接触的机理研究服务。 |
| 学科主题 | 红外探测材料与器件 |
| 公开日期 | 2012-07-11 |
| 内容类型 | 学位论文 |
| 源URL | [http://202.127.1.142/handle/181331/4306]  |
| 专题 | 上海技术物理研究所_上海技物所 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 许金通. 氮化镓光导器件及其相关研究[D]. 中国科学院研究生院. 2005. |
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