| 题名 | 微悬臂梁非制冷红外探测器的研究 |
| 作者 | 刘海涛 |
| 答辩日期 | 2005-05-25 |
| 文献子类 | 硕士 |
| 授予单位 | 中国科学院研究生院 |
| 导师 | 梁平治 |
| 关键词 | 微悬臂梁 非制冷红外探测器 |
| 学位专业 | 凝聚态物理 |
| 英文摘要 | 非制冷热红外探测器主要就是利用对红外线敏感的材料吸收红外线，温度升高，响应元的某些物理特性发生变化，从而得出红外辐射的情况。本文主要研究了微悬臂梁非制冷红外探测器的设计、制造与性能测试技术。微悬臂梁非制冷探测器是一种新的非制冷红外探测器技术，论文利用氮化硅吸收红外辐射，而且氮化硅和铝具有热膨胀系数相差很大的特点，将氮化硅和铝组合在一起制成双材料微悬臂梁探测器。当氮化硅吸收红外辐射温度升高时，微悬臂梁发生弯曲，微悬臂梁和硅衬底形成一个可变电容，微悬臂梁的弯曲改变电容的大小，通过电路来检测电容情况，反映微悬臂梁的弯曲，最终就可以探测出红外辐射情况。 论文期间主要完成以下工作： 1. 完成微悬臂梁的设计。主要包括微悬臂梁在热和机械性能方面的设计和仿真模拟，在理论上得出探测器的电容响应、热时间常数等参数，并完成对微悬臂梁非制冷红外探测器的版图设计。 2. 完成微悬臂梁的制造。在标准的硅工艺的基础上，制作步骤主要包括氧化、光刻、蒸发、刻蚀、溅射和PECVD等。解决了具有大的深宽比的光刻问题和调整氮化硅和铝应力匹配等问题。 3. 完成微悬臂梁单元探测器的初步测试。利用测微电容仪器Keithley model 590对微悬臂梁电容直接进行测试，测出微悬臂梁电容对红外信号得响应和热时间常数。 |
| 学科主题 | 红外探测材料与器件 |
| 公开日期 | 2012-07-11 |
| 内容类型 | 学位论文 |
| 源URL | [http://202.127.1.142/handle/181331/4302]  |
| 专题 | 上海技术物理研究所_上海技物所 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 刘海涛. 微悬臂梁非制冷红外探测器的研究[D]. 中国科学院研究生院. 2005. |
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