具有多腔结构的窄带滤光片列阵 | |
1王少伟2陆卫3陈效双4李宁5张波6李志锋7陈平平 | |
2007 | |
著作权人 | 上海技术物理研究所 |
专利号 | 200510029389.3 |
国家 | 中国 |
文献子类 | 发明 |
英文摘要 | 本发明公开了一种具有多腔结构的窄带滤光片列阵,它是利用多个F-P结构膜系来形成多腔,通过组合镀膜或组合刻蚀方法来形成谐振腔层列阵,以达到控制每个微型窄带滤光片的带通峰位,从而实现不同带通峰位窄带滤光片在同一块基片上集成的目的。这种结构适用于各个波段多腔窄带滤光片列阵。这种结构的优点是滤光片的带通矩形度好,易于多通带集成,可以更多地获取各光谱通带内的信号、同时更好地抑制掉通带外的噪声,大大提高信噪比,能够满足工程化和实用化需要。 |
公开日期 | 2011-09-07 |
申请日期 | 2005 |
语种 | 中文 |
状态 | 公开 |
内容类型 | 专利 |
源URL | [http://202.127.1.142/handle/181331/2050] |
专题 | 上海技术物理研究所_上海技物所 |
推荐引用方式 GB/T 7714 | 1王少伟2陆卫3陈效双4李宁5张波6李志锋7陈平平. 具有多腔结构的窄带滤光片列阵. 200510029389.3. 2007-01-01. |
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