一种基于串联式光学天线的光学相控阵芯片

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	一种基于串联式光学天线的光学相控阵芯片
	张文富; 章羚璇; 孙笑晨; 王国玺
	2018-12-21
著作权人	中国科学院西安光学精密机械研究所
专利号	CN201820554790.1
国家	中国
文献子类	实用新型
产权排序	1
其他题名	一种基于串联式光学天线的光学相控阵芯片
英文摘要	本实用新型涉及一种基于串联式光学天线的光学相控阵芯片，解决现有光学相控阵芯片的天线单元之间距离远大于波长，产生明显的旁瓣，严重影响器件光学性能的问题。该光学相控阵芯片包括基底和导光层；导光层包括依次设置的上端覆盖层、芯层和下端覆盖层；下端覆盖层设置在基底的上端，芯层的折射率高于上端覆盖层、下端覆盖层和基底的折射率；芯层包括多个天线单元，多个天线单元首尾相连，形成多个竖向阵列，多个竖向阵列横向连接为二维阵列；天线单元包括光栅天线、相位调制器和第一连接波导；相位调制器主要由直波导和两个弯曲波导组成，两个弯曲波导通过直波导连接；光栅天线与相位调制器的弯曲波导通过第一连接波导连接。
公开日期	2018-12-21
申请日期	2018-04-18
语种	中文
状态	已授权
内容类型	专利
源URL	[http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/30877]
专题	其它单位_其它部门
作者单位	中国科学院西安光学精密机械研究所
推荐引用方式 GB/T 7714	张文富,章羚璇,孙笑晨,等. 一种基于串联式光学天线的光学相控阵芯片. CN201820554790.1. 2018-12-21.