红外双光栅光谱仪波长扫描机构设计与精度分析

doi:823C85DBE76399DA3F0622A4B73284E7

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	红外双光栅光谱仪波长扫描机构设计与精度分析
	曹佃生; 林冠宇; 闻宝朋; 刘旭堂
刊名	中国激光
	2017
页码	248-254
关键词	光谱学双光栅光谱仪凹面光栅正弦机构误差分析
DOI	823C85DBE76399DA3F0622A4B73284E7
英文摘要	为满足红外双光栅光谱仪波长重复性±0.05nm的指标要求,设计了光谱仪的波长扫描机构,分析了影响波长重复性的误差源。根据光谱仪结构特点和指标要求,设计了基于丝杠和摆杆的正弦机构作为波长扫描机构,依据凹面光栅扫描原理,推导了光机参数转换公式,分析了各误差源对波长扫描机构的影响。分析结果表明,在丝杠重复定位精度为±1.2μm时,光谱仪在760~2200nm波段范围内的重复性应优于±0.05nm。设计了红外双光栅光谱仪原理样机,并进行了实验验证。以汞灯为光源对其多个特征波长进行7次扫描,计算波长扫描机构在特征波长处的波长重复性。实验结果表明,光谱仪的波长重复性为-0.038~0.041nm,波长扫描机构满足使用要求。
语种	中文
内容类型	期刊论文
源URL	[http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/58795]
专题	长春光学精密机械与物理研究所_中科院长春光机所知识产出
推荐引用方式 GB/T 7714	曹佃生,林冠宇,闻宝朋,等. 红外双光栅光谱仪波长扫描机构设计与精度分析[J]. 中国激光,2017:248-254.
APA	曹佃生,林冠宇,闻宝朋,&刘旭堂.(2017).红外双光栅光谱仪波长扫描机构设计与精度分析.中国激光,248-254.
MLA	曹佃生,et al."红外双光栅光谱仪波长扫描机构设计与精度分析".中国激光 (2017):248-254.