扫描曝光系统中二维工作台x轴测量镜的面形在线检测

doi:216AC5BBCFB03FC4470C30599C704FB5

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	扫描曝光系统中二维工作台x轴测量镜的面形在线检测
	刘兆武; 李文昊; 巴音贺希格; 宋莹; 姜珊; 李晓天; 吕强
刊名	中国激光
	2016
页码	231-236
关键词	测量光检测技术二维工作台测量镜面形光栅激光干涉仪
DOI	216AC5BBCFB03FC4470C30599C704FB5
英文摘要	为了提高二维工作台的定位精度,提出了一种在线检测二维工作台x轴测量镜面形的方法。无需y轴测量镜,利用三路激光干涉仪检测工作台x轴测量镜的二次微分信息,对所得数据进行二次积分得到工作台测量镜的精确面形。分析了零点误差对工作台测量镜面形误差检测的影响,并提出了相应的校正方案。对所提出的方法进行了理论推导和实验验证,结果表明,所提方法的检测重复精度优于2.6521nm,验证了该方法对工作台测量镜面形误差检测的正确性,并且可对工作台x轴测量镜的面形误差进行实时补偿。
语种	中文
内容类型	期刊论文
源URL	[http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/58573]
专题	长春光学精密机械与物理研究所_中科院长春光机所知识产出
推荐引用方式 GB/T 7714	刘兆武,李文昊,巴音贺希格,等. 扫描曝光系统中二维工作台x轴测量镜的面形在线检测[J]. 中国激光,2016:231-236.
APA	刘兆武.,李文昊.,巴音贺希格.,宋莹.,姜珊.,...&吕强.(2016).扫描曝光系统中二维工作台x轴测量镜的面形在线检测.中国激光,231-236.
MLA	刘兆武,et al."扫描曝光系统中二维工作台x轴测量镜的面形在线检测".中国激光 (2016):231-236.