QQ客服 官方微博 反馈留言

题名	激光直写光刻技术研究
作者	李凤有
答辩日期	2002
文献子类	博士
授予单位	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
授予地点	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
导师	卢振武
关键词	衍射光学元件 激光直写 光刻
学位专业	光学
英文摘要	激光直写是衍射光学元件的一种先进制作技术，国内激光直写制作技术的水平远没有达到实际应用的要求。本文开展了直角坐标和极坐标激光直写光刻理论与工艺研究，激光直写制作的衍射光学元件己得到了实际应用，为进一步发展激光直写光刻技术奠定理论与实验基础。本文完善了激光直写光刻理论，分析了直写曝光中胶层内光场的分布，探讨了最佳曝光量的选择方案，利用ZEMAX软件进行光线追迹的结果和理论模拟十分相近，实验结果验证了理论模型的正确性，该理论模型对激光直写光刻技术研究具有重要指导意义。 本文完成了直角坐标激光直写光刻技术研究，开展了离焦激光直写光刻的工艺研究，制作了光栅和网格分划板，线宽误差控制在10%以内。首次使用激光直写光刻方法制作了200mm X 200mm金属网栅结构，制作精度很高，金属网栅的光电性能指标接近于理论设计值。本文在极坐标激光直写光刻技术研究中，解决了极坐标特有的关键技术，制作了同心环分划板，定位精度和线宽达到了设计要求。开展了球面激光直写光刻技术研究，分析了球面直写光刻工艺实验难点，提出了有效的解决办法，进行了初步的实验研究。
语种	中文
公开日期	2012-03-21
页码	97
内容类型	学位论文
源URL	[http://159.226.165.120//handle/181722/1583]
专题	长春光学精密机械与物理研究所_中科院长春光机所知识产出
推荐引用方式 GB/T 7714	李凤有. 激光直写光刻技术研究[D]. 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所. 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所. 2002.

个性服务

查看访问统计

相关权益政策

暂无数据

收藏/分享

除非特别说明，本系统中所有内容都受版权保护，并保留所有权利。