一种面向半导体工艺设备的故障诊断方法

	一种面向半导体工艺设备的故障诊断方法
	胡国良; 廖柯; 于淼; 里鹏; 段彬
	2017-07-04
专利国别	中国
专利号	CN106919982A
专利类型	发明
产权排序	1
权利人	中国科学院沈阳自动化研究所
中文摘要	本发明公开了一种面向半导体工艺设备的故障诊断方法，首先建立包括模糊规则库、推理机的专家系统；进一步的，针对半导体工艺设备实时监测参数进行模糊化处理，生成模糊事实；推理机基于模糊事实，通过与模糊规则库的交互来进行模糊推理，生成故障诊断结果；基于故障诊断结果的实际应用情况，进行面向模糊规则库的规则强度自学习修正。本发明基于rete算法进行模糊推理进而得出故障诊断结果，并充分结合实际故障诊断应用情况来进行模糊规则库的规则强度自学习修正，提高了半导体工艺设备故障诊断的精准水平和自动化水平，保障了半导体工艺的高效稳定运行。
是否PCT专利	否
申请日期	2017-03-20
语种	中文
专利申请号	CN201710166248.9
专利代理	沈阳科苑专利商标代理有限公司 21002
内容类型	专利
源URL	[http://ir.sia.cn/handle/173321/20590]
专题	沈阳自动化研究所_数字工厂研究室
推荐引用方式 GB/T 7714	胡国良,廖柯,于淼,等. 一种面向半导体工艺设备的故障诊断方法. CN106919982A. 2017-07-04.