一种基于相位反馈的超声AFM闭环纳米加工装置和方法

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	一种基于相位反馈的超声AFM闭环纳米加工装置和方法
	李广勇; 施佳林; 刘连庆; 于鹏
	2017-09-22
专利国别	中国
专利号	CN107188116A
专利类型	发明
产权排序	1
权利人	中国科学院沈阳自动化研究所
其他题名	Based on phase feedback closed loop ultrasonic afm nanometer processing device and method for
中文摘要	本发明涉及一种基于相位反馈的超声AFM闭环纳米加工装置，包括：AFM系统以及与其连接的超声辅助系统、相位反馈系统，所述超声辅助系统与相位反馈系统连接；方法包括：人机交互界面根据设定的加工深度确定相位差设定值，相位差设定值与相位差检测反馈值输入至PID控制器，PID控制器输出控制信号、光电传感器输出的悬臂梁偏转信号输入至电压加法器，相加后输出至AFM控制器控制探针的加工的深度。本发明通过实时监测悬臂梁的相位值，最终能够实现加工深度信息的实时检测。
是否PCT专利	否
英文摘要	This invention claims a method and device based on phase feedback closed loop ultrasonic afm nanometer processing device comprises: Afm system and connected with the supersonic auxiliary apparatus system and position feedback system said ultrasonic assistant system with the phase feedback system is connected with; Method comprises: Man-machine interactive interface according to the deep processing of confirming phase difference the phase difference value of set value and phase difference detecting feedback value input to pid controller pid controller outputs the control signal the photoelectric sensor output by the cantilever beam deflection signal input to the voltage and adder and then outputs it to the controller controls the afm probe processing of the depth of. The invention is real time monitoring of cantilever beam phase value finally it can realize processing depth information of the real time detecting.
申请日期	2016-03-14
语种	中文
专利申请号	CN201610143203.5
专利代理	沈阳科苑专利商标代理有限公司 21002
内容类型	专利
源URL	[http://ir.sia.cn/handle/173321/21022]
专题	沈阳自动化研究所_机器人学研究室
推荐引用方式 GB/T 7714	李广勇,施佳林,刘连庆,等. 一种基于相位反馈的超声AFM闭环纳米加工装置和方法. CN107188116A. 2017-09-22.