飞秒激光光镊直写银微纳结构

	飞秒激光光镊直写银微纳结构
	陈忠贇; 方淦; 曹良成; 付芸; 曹洪忠; 姜肇国; 段宣明
刊名	中国激光
	2017-12-08
页码	1-9
关键词	激光直写光镊飞秒激光银微纳结构
英文摘要	金属微纳结构在微纳电子学、MEMS、表面等离激元光子学、超颖材料等方面具有重要应用。因此,对于其加工与制备技术的研究一直受到重视。本文利用800 nm飞秒激光光镊捕获水中分散的银纳米颗粒,在玻璃基片上表面直写银线,通过调控激光参数研究了激光功率与线宽及表面形貌的关系,并且实现了线宽为378 nm的银线直写。经过测试,直写的银线电阻率为固体银的19.88倍。此外,还利用该方法制备银二维网格结构,体现了该技术在二维结构直写方面的良好加工能力。
语种	中文
内容类型	期刊论文
源URL	[http://119.78.100.138/handle/2HOD01W0/5149]
专题	机器人与3D打印技术创新中心
作者单位	(1) 长春理工大学光电工程学院(2)中国科学院重庆绿色智能技术研究院智能增材制造技术与系统重庆市重点实验室
推荐引用方式 GB/T 7714	陈忠贇,方淦,曹良成,等. 飞秒激光光镊直写银微纳结构[J]. 中国激光,2017:1-9.
APA	陈忠贇.,方淦.,曹良成.,付芸.,曹洪忠.,...&段宣明.(2017).飞秒激光光镊直写银微纳结构.中国激光,1-9.
MLA	陈忠贇,et al."飞秒激光光镊直写银微纳结构".中国激光 (2017):1-9.