一种多孔/量子点复合结构红外探测器单元及制备方法

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	一种多孔/量子点复合结构红外探测器单元及制备方法
	冯双龙; 魏兴战; 申钧; 杨俊; 陆仕荣; 周大华; 史浩飞; 杜春雷
	2017-11-07
著作权人	中国科学院重庆绿色智能技术研究院
专利号	2016105677722
国家	中国
文献子类	发明专利
英文摘要	本发明涉及一种基于多孔/量子点结构红外探测器，包括基底；所述基底上设置周期性红外探测基元阵列，单个所述红外探测基元包括位于基底上的衬底和生长于衬底上的多孔结构薄膜，所述多孔结构薄膜的孔隙内部为红外敏感材料量子点。将量子点做为桥面结构中的红外吸收层薄膜，多孔结构作为热敏感层薄膜，增强了红外探测焦平面器件的红外吸收率，从而使得非制冷焦平面器件的探测效率得到进一步提升，该制作过程简单可控，稳定性和可重复性高，这对器件的大批量生产有着至关重要的意义。
分类号	B81b3/00(2006.01)i ; b81c1/00(2006.01)i ; g01j5/02(2006.01)i
申请日期	2016-07-19
语种	中文
状态	已授权
内容类型	专利
源URL	[http://119.78.100.138/handle/2HOD01W0/5345]
专题	微纳制造与系统集成研究中心有机半导体材料研究中心
作者单位	(1)中国科学院重庆绿色智能技术研究院
推荐引用方式 GB/T 7714	冯双龙,魏兴战,申钧,等. 一种多孔/量子点复合结构红外探测器单元及制备方法. 2016105677722. 2017-11-07.