子孔径拼接在米量级平面光学元件面形误差检测中的应用

	子孔径拼接在米量级平面光学元件面形误差检测中的应用
	邵建达; 周游; 刘世杰; 白云波; 张志刚
	2016
中文摘要	应用于高功率激光装置中的光学元件具有尺寸大、精度高、数量多等特点,包括偏振片、钕玻璃片、反射镜以及脉冲压缩光栅等大口径平面光学元件,其中大部分光学元件为矩形,外形尺寸(对角线)都接近甚至超过了米量级。利用大口径平面干涉仪(口径最大到Φ800mm),基于斜入射的测量方法可以满足部分口径小于1m的矩形光学元件面形以及反射波前误差的检测,但是对于元件尺寸超过1m的光学元件,例如
会议录	第十六届全国光学测试学术交流会摘要集
语种	中文
内容类型	会议论文
源URL	[http://ir.siom.ac.cn/handle/181231/27421]
专题	上海光学精密机械研究所_中科院强激光材料重点实验室
作者单位	中国科学院上海光学精密机械研究所
推荐引用方式 GB/T 7714	邵建达,周游,刘世杰,等. 子孔径拼接在米量级平面光学元件面形误差检测中的应用[C]. 见:.