影响氢化非晶硅薄膜光衰退稳定性的因素

	影响氢化非晶硅薄膜光衰退稳定性的因素
	马占洁; 陈光华; 何斌; 刘国汉; 朱秀红; 张文理; 李志中; 郜志华; 宋雪梅; 邓金祥
	2005-09-01
会议名称	TFC'05全国薄膜技术学术研讨会
关键词	非晶硅薄膜化学气相沉积能量转换率热丝绿色能源功能材料电子回旋共振光敏性生长表红外吸收谱
页码	2
中文摘要	氢化非晶硅薄膜作为一种新型的光伏功能材料,已被广泛地应用于大面积太阳能电池中,成为当前重要的绿色能源。但由于存在SW效应,制约了它的进一步发展。因此人们都在致力于研究影响氢化非晶硅薄膜光衰退稳定性的因素。本文对此也进行了一定的探讨。实验中所用的样品采用热丝辅助微波电子回旋共振化学气相沉积的方法制备。此方法等离子体能量转换率高、气体分解充分、激发态物种和基团浓度高和热丝化学气相沉积制备出的薄
会议录	TFC'05全国薄膜技术学术研讨会论文摘要集
语种	中文
内容类型	会议论文
源URL	[http://202.201.7.4/handle/262010/107987]
专题	物理科学与技术学院_会议论文
推荐引用方式 GB/T 7714	马占洁,陈光华,何斌,等. 影响氢化非晶硅薄膜光衰退稳定性的因素[C]. 见:TFC'05全国薄膜技术学术研讨会.