高性能类金刚石碳膜的制备

	高性能类金刚石碳膜的制备
	王云锋; 王立平; 张广安; 王君; 闫鹏勋; 薛群基
	2008-10-01
会议名称	第七届全国表面工程学术会议暨第二届表面工程青年学术论坛
关键词	中频磁控溅射 AL-DLC薄膜摩擦磨损性能
页码	3
中文摘要	采用中频磁控溅射技术在单晶硅表面制备含铝类金刚石(Al-DLC)薄膜,利用原子力显微镜、X射线光电子能谱仪、纳米压痕仪和微摩擦磨损实验机等考察了薄膜的表面形貌、结构及其摩擦磨损性能。结果表明:所制备的含铝类金刚石薄膜均匀、致密,表面粗糙度小,应力较低,硬度较高; 薄膜与Si_3N_4陶瓷球对摩表现出良好的抗磨减磨性能,耐磨寿命超过3×10~5次。
会议录	第七届全国表面工程学术会议暨第二届表面工程青年学术论坛论文集（一）
语种	中文
内容类型	会议论文
源URL	[http://202.201.7.4/handle/262010/107896]
专题	物理科学与技术学院_会议论文
推荐引用方式 GB/T 7714	王云锋,王立平,张广安,等. 高性能类金刚石碳膜的制备[C]. 见:第七届全国表面工程学术会议暨第二届表面工程青年学术论坛.