基于微模塑复制技术的聚合物微悬臂梁的研制

	基于微模塑复制技术的聚合物微悬臂梁的研制
	白英良; 段辉高; 韩立
刊名	微细加工技术/Weixi Jiagong Jishu/Microfabrication Technology
	2008-10-15
期号	5 页码:35-36+40
关键词	微悬臂梁微模塑聚合物 PDMS 固化
ISSN号	10038213
其他题名	Fabrication of micro-cantilever based on micro-molding replication techniques
通讯作者	Bai, Y.-L.
中文摘要	首先用电火花技术制作出不锈钢基座和悬臂梁,然后利用PDMS良好的柔性、弹性、复制分辨率以及良好的透气性能制作了过渡模版,通过二次复制的图形转移技术,制作了聚合物微悬臂梁。测试表明,所制作的聚合物悬臂梁基本满足悬臂梁工作的要求,利用该微模塑复制技术制备聚合物微悬臂梁的方法工艺简单、成本低、可批量生产,同时避免了刚性脱模带来的难题。根据实验,还给出了中温注射、低温固化、高温后固化的最佳工艺方法。
语种	中文
内容类型	期刊论文
源URL	[http://202.201.7.4:8080/handle/262010/102753]
专题	物理科学与技术学院_期刊论文
推荐引用方式 GB/T 7714	白英良,段辉高,韩立. 基于微模塑复制技术的聚合物微悬臂梁的研制[J]. 微细加工技术/Weixi Jiagong Jishu/Microfabrication Technology,2008(5):35-36+40.
APA	白英良,段辉高,&韩立.(2008).基于微模塑复制技术的聚合物微悬臂梁的研制.微细加工技术/Weixi Jiagong Jishu/Microfabrication Technology(5),35-36+40.
MLA	白英良,et al."基于微模塑复制技术的聚合物微悬臂梁的研制".微细加工技术/Weixi Jiagong Jishu/Microfabrication Technology .5(2008):35-36+40.