两种物理气相沉积氮化钛涂层的结构及摩擦性能研究

	两种物理气相沉积氮化钛涂层的结构及摩擦性能研究
	韩修训; 阎鹏勋; 阎逢元; 刘维民; 余画洋; 徐建伟; 吴志国
刊名	摩擦学学报
	2002-06-30
期号	3 页码:175-179
关键词	TiN 涂层磁过滤阴极弧等离子体纳米压入 PVD 结构性能
其他题名	两种物理气相沉积氮化钛涂层的结构及摩擦性能研究
中文摘要	分别利用磁过滤阴极弧等离子体沉积装置和直流磁控溅射装置在不锈钢基底上制备了 Ti N涂层 ,采用 X射线光电子能谱仪、X射线衍射仪和扫描电子显微镜对涂层的结构及形貌进行了表征 ;利用纳米压痕仪测定了涂层的硬度 ;在 DF- PM型动摩擦系数精密测定仪上考察了涂层的摩擦学性能 .结果表明 :与采用直流磁控溅射法在 40 0℃基底上制备的 Ti N涂层相比 ,采用磁过滤沉积装置在室温下制备的 Ti N涂层更加致密 ,表面平滑 ,最大硬度达 3 5 GPa,摩擦系数明显较小 ( 0 .1～ 0 .4) ,耐磨性较好
语种	中文
内容类型	期刊论文
源URL	[http://202.201.7.4:8080/handle/262010/102345]
专题	物理科学与技术学院_期刊论文
推荐引用方式 GB/T 7714	韩修训,阎鹏勋,阎逢元,等. 两种物理气相沉积氮化钛涂层的结构及摩擦性能研究[J]. 摩擦学学报,2002(3):175-179.
APA	韩修训.,阎鹏勋.,阎逢元.,刘维民.,余画洋.,...&吴志国.(2002).两种物理气相沉积氮化钛涂层的结构及摩擦性能研究.摩擦学学报(3),175-179.
MLA	韩修训,et al."两种物理气相沉积氮化钛涂层的结构及摩擦性能研究".摩擦学学报 .3(2002):175-179.