热丝辅助射频CVDC_3N_4薄膜(英文)

	热丝辅助射频CVDC_3N_4薄膜(英文)
	吴现成; 贺德衍; 王博; 严辉; 陈光华
刊名	人工晶体学报
	2000-08-30
期号	3 页码:275-279
关键词	化学气相沉积氮化碳薄膜 X射线衍射扫描电镜硬度
其他题名	热丝辅助射频CVDC_3N_4薄膜(英文)
中文摘要	采用热丝辅助射频等离子体增强化学气相沉积 (CVD)方法直接在Si(10 0 )衬底上制备了多晶C3N4 薄膜。X射线衍射 (XRD)测试表明薄膜同时含有α C3N4 和 β C3N4 晶相以及未知结构。傅立叶变换红外吸收谱 (FTIR)表明薄膜内的C—N ,CN和CN键的吸收峰分别位于 12 37,16 2 5和2 191cm- 1。利用扫描电子显微镜 (SEM)观测到线度约为 2 μm、横截面为六边形的 β C3N4 晶粒。纳米压痕法测得薄膜的硬度最高可达 72 .6 6GPa。
语种	英语
内容类型	期刊论文
源URL	[http://202.201.7.4:8080/handle/262010/102272]
专题	物理科学与技术学院_期刊论文
推荐引用方式 GB/T 7714	吴现成,贺德衍,王博,等. 热丝辅助射频CVDC_3N_4薄膜(英文)[J]. 人工晶体学报,2000(3):275-279.
APA	吴现成,贺德衍,王博,严辉,&陈光华.(2000).热丝辅助射频CVDC_3N_4薄膜(英文).人工晶体学报(3),275-279.
MLA	吴现成,et al."热丝辅助射频CVDC_3N_4薄膜(英文)".人工晶体学报 .3(2000):275-279.