影响集成电路管芯成品率的诸工艺因素(二)

	影响集成电路管芯成品率的诸工艺因素(二)
	李思渊; 何山虎; 赵全喜; 赵丕鑫
刊名	半导体技术
	1978-03-02
期号	1 页码:6-15
关键词	成品率:5893 基区:4487 电路管:3299 结击穿:2830 结特性:2820 工艺因素:2219 管芯:2199 影响集:1859 引线孔:1841 工艺程序:1291
其他题名	影响集成电路管芯成品率的诸工艺因素(二)
中文摘要	上文中我们就对集成电路管芯成品率影响较大的光刻质量,版面设计等六个工艺因素进行了分析。现在我们再从工艺程序等四个方面对管芯成品率的影响作一讨论。一、工艺程序的设置对成品率的重要影响使用怎样的工艺程序(包括规范和条件)来完成电路管芯的制作,对成品率的影响是巨大的。例如,对于TTL电路,我们可以对比下边四种程序的安排,就可看出问题的
语种	中文
内容类型	期刊论文
源URL	[http://202.201.7.4:8080/handle/262010/101615]
专题	物理科学与技术学院_期刊论文
推荐引用方式 GB/T 7714	李思渊,何山虎,赵全喜,等. 影响集成电路管芯成品率的诸工艺因素(二)[J]. 半导体技术,1978(1):6-15.
APA	李思渊,何山虎,赵全喜,&赵丕鑫.(1978).影响集成电路管芯成品率的诸工艺因素(二).半导体技术(1),6-15.
MLA	李思渊,et al."影响集成电路管芯成品率的诸工艺因素(二)".半导体技术 .1(1978):6-15.