Al_AlN多层膜的摩擦磨损性能研究

	Al_AlN多层膜的摩擦磨损性能研究
	张广安; 吴志国; 王明旭; 范晓彦; 王君; 闫鹏勋
刊名	摩擦学学报/Mocaxue Xuebao/Tribology
	2007-05-15
卷号	27 期号:3 页码:204-209
关键词	磁控溅射 Al/AlN多层膜摩擦磨损性能 Aluminum nitride Tribological properties Wear properties
ISSN号	10040595
其他题名	Study on tribological behavior of Al/AlN multilayers
通讯作者	Zhang, G.-A.
中文摘要	采用柱状靶磁控溅射系统制备Al/AlN纳米多层膜,采用纳米压痕仪测量Al/AlN纳米多层膜的纳米硬度,在UMT-2M型摩擦磨损试验机上评价其摩擦磨损性能.结果表明:当AlN层较厚时,薄膜在很短时间内被磨穿;调节Al/AlN层厚比为2.9/1.1时,薄膜的摩擦磨损性能明显提高;当保持Al/AlN层厚比为2.9/1.1、变化多层膜的调制周期时,薄膜的摩擦系数较低,但硬度较低的薄膜由于承载能力不够,不能够保持优良的摩擦磨损性能.
学科主题	421 Strength of Building Materials; Mechanical Properties;541.1 Aluminum;812.1 Ceramics;813.2 Coating Materials;931.2 Physical Properties of Gases, Liquids and Solids
语种	中文
内容类型	期刊论文
源URL	[http://202.201.7.4:8080/handle/262010/101570]
专题	物理科学与技术学院_期刊论文
推荐引用方式 GB/T 7714	张广安,吴志国,王明旭,等. Al_AlN多层膜的摩擦磨损性能研究[J]. 摩擦学学报/Mocaxue Xuebao/Tribology,2007,27(3):204-209.
APA	张广安,吴志国,王明旭,范晓彦,王君,&闫鹏勋.(2007).Al_AlN多层膜的摩擦磨损性能研究.摩擦学学报/Mocaxue Xuebao/Tribology,27(3),204-209.
MLA	张广安,et al."Al_AlN多层膜的摩擦磨损性能研究".摩擦学学报/Mocaxue Xuebao/Tribology 27.3(2007):204-209.