溶胶-凝胶法制备光波导薄膜及性质的研究

	溶胶-凝胶法制备光波导薄膜及性质的研究
	姜永睿; 胡雄伟; 杨沁清; 王红杰; 杨澜; 郑金红; 谢二庆
刊名	光子学报
	2004-09-25
期号	9 页码:1140-1143
关键词	光敏性溶胶-凝胶 SiO2薄膜折射率红外光谱波导
其他题名	溶胶-凝胶法制备光波导薄膜及性质的研究
中文摘要	采用有机改性硅酸盐制备了光敏性溶胶 -凝胶 ,并在凝胶中加入四丙氧基锆作为调节折射率的材料 ;用该凝胶在硅片上提拉成膜 .为了增加薄膜与硅片的粘附性 ,成膜前先用干氧热氧化法在硅片上生长了一层厚度约为 15 0 0 的二氧化硅 ;样品的原子力相片表明薄膜的表面非常平整 ,在 5× 5 μm2 的范围内最大表面起伏只有 0 .6 5 7nm 利用波导阵列掩膜版 ,对制备的薄膜在紫外光波段下曝光 ,得到了表面平坦、侧墙光滑、陡直的沟道波导阵列研究发现 :紫外曝光时间和坚膜时的后烘温度都会使薄膜的折射率增大 .通过对样品红外吸收谱的分析 ,从微观机理上解释了折射率随工艺条件变化的原因
语种	中文
内容类型	期刊论文
源URL	[http://202.201.7.4:8080/handle/262010/101431]
专题	物理科学与技术学院_期刊论文
推荐引用方式 GB/T 7714	姜永睿,胡雄伟,杨沁清,等. 溶胶-凝胶法制备光波导薄膜及性质的研究[J]. 光子学报,2004(9):1140-1143.
APA	姜永睿.,胡雄伟.,杨沁清.,王红杰.,杨澜.,...&谢二庆.(2004).溶胶-凝胶法制备光波导薄膜及性质的研究.光子学报(9),1140-1143.
MLA	姜永睿,et al."溶胶-凝胶法制备光波导薄膜及性质的研究".光子学报 .9(2004):1140-1143.