光敏性溶胶-凝胶波导材料

	光敏性溶胶-凝胶波导材料
	姜永睿; 胡雄伟; 杨沁清; 王红杰; 杨澜; 谢二庆
刊名	半导体学报/Pan Tao Ti Hsueh Pao/Chinese Journal of Semiconductors
	2004-06-08
卷号	25 期号:6 页码:687-690
关键词	光敏性溶胶凝胶 SiO2薄膜折射率波导 Photosensitive sol gel Silica films
ISSN号	02534177
其他题名	Characteristics of photosensitive sol-gel waveguide
通讯作者	Jiang, Y.
中文摘要	采用有机改性硅酸盐制备了光敏性溶胶凝胶 ,并应用四丙氧基锆作为调节折射率的材料 .为了增加薄膜与硅片的粘附作用 ,先用干氧热氧化法在硅片上生长一层厚度约为 15 0nm的SiO2 ,然后使用提拉法在硅片上提拉成膜 ,薄膜厚度达到 3 6 μm .研究发现紫外曝光时间和坚膜时的后烘温度都会使薄膜的折射率增大 .样品的原子力显微镜照片表明薄膜的表面非常平整 ,在 5 μm× 5 μm的范围内表面起伏只有 0 6 5 7nm .利用波导阵列掩膜版 ,对制备的薄膜在紫外光波段下曝光 ,得到了表面平坦、侧墙光滑、陡直的沟道波导阵列 .
学科主题	717.1 Optical Communication Systems;741.1 Light/Optics;741.3 Optical Devices and Systems
语种	中文
内容类型	期刊论文
源URL	[http://202.201.7.4:8080/handle/262010/101427]
专题	物理科学与技术学院_期刊论文
推荐引用方式 GB/T 7714	姜永睿,胡雄伟,杨沁清,等. 光敏性溶胶-凝胶波导材料[J]. 半导体学报/Pan Tao Ti Hsueh Pao/Chinese Journal of Semiconductors,2004,25(6):687-690.
APA	姜永睿,胡雄伟,杨沁清,王红杰,杨澜,&谢二庆.(2004).光敏性溶胶-凝胶波导材料.半导体学报/Pan Tao Ti Hsueh Pao/Chinese Journal of Semiconductors,25(6),687-690.
MLA	姜永睿,et al."光敏性溶胶-凝胶波导材料".半导体学报/Pan Tao Ti Hsueh Pao/Chinese Journal of Semiconductors 25.6(2004):687-690.