CORC  > 厦门大学  > 能源院-学位论文
题名CIGS薄膜太阳电池吸收层及Mo电极的制备工艺研究; The Study of Fabrication Technology for Absorption Layer and Mo Electrode based CIGS Thin-Film Solar Cell
作者陈伟
答辩日期2017-03-24 ; 2015-05-21
导师张风燕
关键词CIGS 磁控溅射 硒化热处理 Mo电极 CIGS, magnetron sputtering, selenization, Mo back contact
英文摘要铜铟镓硒薄膜太阳电池是现今薄膜太阳电池领域发展前景最好的电池之一。在当前的薄膜电池产业化领域中,溅射后硒化技术适合于大面积规模化制备CIGS薄膜电池。本论文分两部分内容,第一部分是围绕溅射后硒化法两步工艺制备高质量的Cu(In1-xGax)Se2(CIGS)薄膜,并对CIGS薄膜性能进行了研究。第二部分是,在CIGS吸收层与Mo电极整合过程中,系统研究了Mo电极的制备工艺在硒化热处理中存在的技术问题。 第一部分利用CuGa(3:1at%)合金靶和单质In靶双靶交替磁控溅射制备CuInGa金属预制层,研究了预制层的溅射参数对薄膜组分及微观形貌的影响,从而为CIGS薄膜后续的硒化处理调控出合适的...; Copper indium gallium selenide (CIGS) thin film solar cell is now one of prospective development thin film solar cells. In thin-film solar cells industry, sputtering and selenization technology was suitable for large scale preparation of CIGS thin film cells. This article was divided into two parts, the first part studying sputtering and selenization method with two step processes for fabricating ...; 学位:理学硕士; 院系专业:能源研究院_光伏工程; 学号:32420121152117
语种zh_CN
出处http://210.34.4.13:8080/lunwen/detail.asp?serial=51393
内容类型学位论文
源URL[http://dspace.xmu.edu.cn/handle/2288/131147]  
专题能源院-学位论文
推荐引用方式
GB/T 7714
陈伟. CIGS薄膜太阳电池吸收层及Mo电极的制备工艺研究, The Study of Fabrication Technology for Absorption Layer and Mo Electrode based CIGS Thin-Film Solar Cell[D]. 2017, 2015.
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