| 题名 | 石墨烯的CVD生长、转移及散热应用研究; The CVD Synthesis, Transfer Technology of Graphene and its Thermal Management Application |
| 作者 | 毕瑞可 |
| 答辩日期 | 2016-12-20 ; 2016-05-24 |
| 导师 | 刘宝林 ; 郭航 |
| 关键词 | 石墨烯 化学气相沉积 芯片散热 转移 有限元 Graphene Chemical Vapor Deposition Heat dissapation Transfer Process Finite Element Analysis |
| 英文摘要 | 石墨烯是一层由碳原子以sp2杂化结构连成的单原子层，石墨烯由于其超高的热导率，在散热领域有广阔的应用前景。目前石墨烯复合散热材料的研究相对较多，但对于二维石墨烯散热应用的研究相对较少。二维的石墨烯散热导流层在传统散热器的基础上更兼具体积小、易于集成、与微电子工艺兼容、散热性能更好等优势。但高质量、大面积石墨烯的制备与转移目前还存在诸多难点，对石墨烯的微纳米加工技术还存在很多问题。基于此，本文重点研究石墨烯的生长和转移技术的优化，利用有限元方法探究石墨烯散热导流层性能及其影响因素，旨在优化石墨烯的散热性能。 为了生长出大面积、高质量、连续性好的石墨烯，本文选择化学气相沉积法来制备石墨烯，通过控...; Graphene is a monolayer material composed of carbon atoms with sp2 hybridization. With ultra-high thermal conductivity, graphene has a broad application in heat dissipation. Currently, most researches are related about graphene composite materials for heat dissipation rather than graphene heat spreader. Compared with traditional heat sink, graphene heat spreader has a lot of metrits such as flexib...; 学位：工学硕士; 院系专业：物理科学与技术学院_微电子学与固体电子学; 学号：19820131152975 |
| 语种 | zh_CN |
| 出处 | http://210.34.4.13:8080/lunwen/detail.asp?serial=56163 |
| 内容类型 | 学位论文 |
| 源URL | [http://dspace.xmu.edu.cn/handle/2288/134293]  |
| 专题 | 物理技术－学位论文 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 毕瑞可. 石墨烯的CVD生长、转移及散热应用研究, The CVD Synthesis, Transfer Technology of Graphene and its Thermal Management Application[D]. 2016, 2016. |
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