CORC  > 厦门大学  > 物理技术-学位论文
题名气囊抛光机床精度及元件面形中频控制研究; Research on Bonnet Polishing Machine Tool Precision and Optics Surface Mid-spatial Frequency Error Controlling Technique
作者姜涛
答辩日期2016-03-17 ; 2015-05-26
导师黄红武
关键词Bonnet Polishing Volumetric Error Material Removal Rate Mid-spatial Frequency Error M Shape Removal Function 气囊抛光 空间误差 去除效率 中频误差 M去除函数
英文摘要大口径自由曲面光学元件广泛应用于强激光装置、大型天文望远镜、卫星用光学系统等大中型光学系统中,随着国家重大光学工程及国防尖端技术对它们的需求量越来越大,实现大口径自由曲面光学元件的高效、高精度加工是光学元件制造领域需要解决的关键问题。抛光加工作为大口径自由曲面光学元件超精密加工的一个重要工序,其材料去除效率、加工精度以及加工表面纹理控制等对光学元件的最终质量有重要影响。气囊抛光技术采用具有一定充气压力的柔性橡胶气囊作为抛光工具,通过选取不同的工艺参数(如气囊充气压力、气囊压缩量、主轴转速、气囊头直径)可以有效地控制抛光材料去除效率以及对光学表面误差确定性地去除,从而获得高质量的大口径光学元件,...; Large free-form optical lens are widely applied to large and medium-sized optical systems, such as the high energy laser systems, large astronomical telescopes, optical system in satellites. As the requirement of the major national science and technology project and the national defense technology have increased, the implementation of large free-form optical lens with high efficiency, high precisi...; 学位:工学博士; 院系专业:物理与机电工程学院_机械制造及其自动化; 学号:19920120153883
语种zh_CN
出处http://210.34.4.13:8080/lunwen/detail.asp?serial=51220
内容类型学位论文
源URL[http://dspace.xmu.edu.cn/handle/2288/134186]  
专题物理技术-学位论文
推荐引用方式
GB/T 7714
姜涛. 气囊抛光机床精度及元件面形中频控制研究, Research on Bonnet Polishing Machine Tool Precision and Optics Surface Mid-spatial Frequency Error Controlling Technique[D]. 2016, 2015.
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