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题名	Si基硒微纳结构的制备及光电特性研究; Fabrication, Optical and Electrical Properties of Selenium Micro-Nano Structures on Si Substrates
作者	潘书万
答辩日期	2011 ; 2011
导师	刘宝林 ; 陈松岩
关键词	Si基 Se微纳结构 a-Se/n-Si异质结 Se纳米颗粒 Ge量子点 Si/Se超晶格 表面钝化 Si based Se micro-nano structure a-Se/n-Si heterojunction Se NCs Ge QDs Si/Se superlattice surface passivation
英文摘要	以Si材料为基础的微电子技术是当今信息化时代的关键支柱，已经达到相当成熟的产业化水平，在信息领域中做出了巨大的贡献。Si基化合物新材料在硅集成光电子和纳米器件如单电子器件、太阳电池以及薄膜晶体管等方面具有广阔的应用前景。然而，Si基化合物材料的发展相对比较缓慢，除SiGe材料外，其他Si基化合物材料的研究并不深入。因此，寻找新的性能优良的Si基化合物材料是进一步加快光电子集成发展的有效途径之一。本文利用超高真空气相沉积系统（UHVCVD）在Si基上制备了系列的Se微纳结构，研究其光电特性。取得以下主要结果： 在超高真空条件下，通过调控衬底的温度，在Si(100)表面制备出三种不同结构的Se薄...; As the key mainstay of information age nowadays, microelectronic materials based on silicon have reached a mature industrial level, which make a great contribution to the field of information. As is well-known, Si-based materials posses a wide range of application such as single electron device, solar cell as well as thin film transistor. However, it is noted that the development of Si-based semic...; 学位：工学博士; 院系专业：物理与机电工程学院物理学系_微电子学与固体电子学; 学号：19820080150516
语种	zh_CN
出处	http://210.34.4.13:8080/lunwen/detail.asp?serial=32740
内容类型	学位论文
源URL	[http://dspace.xmu.edu.cn/handle/2288/54966]
专题	物理技术－学位论文
推荐引用方式 GB/T 7714	潘书万. Si基硒微纳结构的制备及光电特性研究, Fabrication, Optical and Electrical Properties of Selenium Micro-Nano Structures on Si Substrates[D]. 2011, 2011.

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