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题名	用于微机械隧道陀螺仪的硅尖的制备工艺的研究; Research on the fabrication technology of the silicon tip used in micro machined tunneling gyroscope
作者	王艳华
答辩日期	2003 ; 2003
导师	孙道恒
关键词	陀螺仪 硅尖 刻蚀 Gyroscope Silicon tip Etch
英文摘要	梁式微机械隧道陀螺仪利用隧道效应设计微机械陀螺的输出敏感元件，解决了传统微机械陀螺仪因器件尺寸的减小而导致的灵敏度降低的缺点。而且，由于隧道电流对电极间位移变化极其敏感，所以隧道陀螺仪具有高灵敏度、低漂移、体积小、可靠性高等特点。目前国内外对隧道陀螺仪的研究较少，鲜有报道。 从隧道陀螺仪的工作原理看，当隧道硅尖和弹性悬臂梁之间的距离达到1nm以内时，就产生了隧道效应，同时产生了隧道电流，故在梁式微机械电子隧道陀螺仪中硅尖是一个重要组成部分。硅尖制备成功与否对整个陀螺仪器件而言至关重要。硅尖除了可应用于隧道传感器外，还可以应用于原子力显微镜，真空微电子器件等。在硅尖制备中，常用的方案有：各向异...; Micro machined tunneling gyroscope with cantilever beam overcomes the traditional one’s defect that sensitivity lower as size reduced, for its output sensitive element is designed adopting the quantum tunneling effect. In addition, tunnel current is very sensitive to the displacement between two electrodes. Thus micro machined tunneling gyroscope with cantilever beam has many merits in comparison ...; 学位：工学硕士; 院系专业：物理与机电工程学院机电工程系_测试计量技术及仪器; 学号：200029009
语种	zh_CN
出处	http://210.34.4.13:8080/lunwen/detail.asp?serial=2565
内容类型	学位论文
源URL	[http://dspace.xmu.edu.cn/handle/2288/54458]
专题	物理技术－学位论文
推荐引用方式 GB/T 7714	王艳华. 用于微机械隧道陀螺仪的硅尖的制备工艺的研究, Research on the fabrication technology of the silicon tip used in micro machined tunneling gyroscope[D]. 2003, 2003.

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