| 题名 | 玻璃基微流控芯片的制作及原位拉曼检测; Fabrication and Raman Spectroscopy Detection of Glass Microfluidic Chips |
| 作者 | 郝苇苇 |
| 答辩日期 | 2007 ; 2007 |
| 导师 | 周勇亮 |
| 关键词 | 微流控芯片 拉曼光谱 酶催化反应 microfluidic chip Raman spectroscopy enzyme catalyzed reaction |
| 英文摘要 | 微流控芯片是一个多学科高度交叉的前沿领域，其介于亚毫米至微米之间的特征尺寸决定了微通道中的流体具有不同于宏观流体的特殊性质和行为。本论文应用湿法腐蚀、微电铸等工艺制作微流控芯片，并利用共焦拉曼谱仪对芯片上的流体扩散与反应行为进行原位的检测和研究，主要的研究内容及结果如下： 1.建立并优化制作高平整度PDMS基片的方法。对湿法腐蚀硅的工艺进行摸索改进，通过提高TMAH腐蚀液浓度并在湿法腐蚀前增加前烘硅片的步骤，得到微通道底部表面轮廓算术平均偏差Ra仅2nm的硅阴模；优化电铸镍的实验参数，得到表面轮廓算术平均偏差0.325μm的镍阳模；最终浇注得到表面平整度符合共焦拉曼扫描要求的PDMS基片。 ...; Microfluidic chip is an interdisciplinary field. As the dimension sharply reduced to sub-millimeter or even micrometer, physicochemical phenomena of microfluidic such as diffusion, surface tension and viscosity become much more important than that of macrofluidic, and then dominate many performances. In this thesis, wet etching and electroforming were employed in microfluidic chip fabrication, and...; 学位：理学硕士; 院系专业：化学化工学院化学系_物理化学(含化学物理); 学号：200425082 |
| 语种 | zh_CN |
| 出处 | http://210.34.4.13:8080/lunwen/detail.asp?serial=16497 |
| 内容类型 | 学位论文 |
| 源URL | [http://dspace.xmu.edu.cn/handle/2288/35403]  |
| 专题 | 化学化工－学位论文 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 郝苇苇. 玻璃基微流控芯片的制作及原位拉曼检测, Fabrication and Raman Spectroscopy Detection of Glass Microfluidic Chips[D]. 2007, 2007. |
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