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	低成本多晶硅片表面织构的研究; Texturing of Low-cost Polycrystalline Silicon Wafers
	潘淼 ; 李艳华 ; 陈朝
	2011-12
关键词	低成本多晶硅 磷吸杂 织构 酸腐蚀 low-cost polycrystalline silicon phosphorus gettering texturing acidic etching
英文摘要	【中文摘要】 采用化学腐蚀液织构了经磷吸杂处理后的多晶硅片。利用SEM分析了化学腐蚀后多晶硅表面形态,并通过反射谱测试分析了多晶硅片表面的陷光效果。实验结果表明:经酸腐蚀后的样品表面分布着均一的"蚯蚓状"的腐蚀坑,且反射率较低。在400～1 000nm波长范围内,反射率可达22.75%;生长了SiNx薄膜后,反射率减小至8.33%,比原始硅片的反射率低20.96%。 【英文摘要】 After phosphorus gettering pretreatment,the low-cost polycrystalline silicon(poly-Si) wafers are textured by chemical etching solution.The poly-Si surface and its light trapping were analyzed by scanning electron microscope(SEM) and reflection spectrum,respectively.Results show that the surface etched by the acid solution was distributed with uniform earthworm-like etched-pits,and it had a very low reflectance.The reflectivity of the sample can reach 22.75% within the wavelength of 400~1 100 nm.After the de...; 国家自然科学基金项目(61076056);福建省重大专项项目(2007HZ0005-2)
语种	中文
出版者	《半导体光电》编辑部
内容类型	期刊论文
源URL	[http://dspace.xmu.edu.cn/handle/2288/12576]
专题	物理技术－已发表论文
推荐引用方式 GB/T 7714	潘淼,李艳华,陈朝. 低成本多晶硅片表面织构的研究, Texturing of Low-cost Polycrystalline Silicon Wafers[J],2011.
APA	潘淼,李艳华,&陈朝.(2011).低成本多晶硅片表面织构的研究..
MLA	潘淼,et al."低成本多晶硅片表面织构的研究".(2011).

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