单壁碳纳米管场效应晶体管的制备工艺研究

CORC > 上海交通大学

	单壁碳纳米管场效应晶体管的制备工艺研究
	黄改燕 ; 陈长鑫 ; 张亚非
刊名	http://epub.edu.cnki.net/grid2008/brief/detailj.aspx?filename=BDTQ200802009&dbname=CJFQ2008
	2012-04-24 ; 2012-04-24
关键词	单壁碳纳米管碳纳米管场效应晶体管肖特基势垒超声纳米焊接原位生长
中文摘要	综述了碳纳米管场效应晶体管(CNTFET)的主要结构和导电沟道的制备工艺,如AFM探针操控、CVD原位生长、交流介电泳和L-B大面积操控排布等方法。在对CNTFET的这些结构和制备工艺进行详细分析的基础上,着重指出目前CNTFET导电沟道制备中存在的诸如金属性单壁碳纳米管(SWCNT)的烧除、接触电阻大、滞后现象以及p型CNTFET转化等问题,并针对这些问题提出了具体可行的解决方案。
语种	中文
其他责任者	上海交通大学微纳米科学技术研究院微/纳米加工技术国家级重点实验室 ; 薄膜与微细技术教育部重点实验室 ; 上海交通大学微纳米科学技术研究院 ; 微/纳米加工技术国家级重点实验室 ; 上海200030
内容类型	期刊论文
源URL	[http://ir.calis.edu.cn/hdl/231030/2638]
专题	上海交通大学
推荐引用方式 GB/T 7714	黄改燕,陈长鑫,张亚非. 单壁碳纳米管场效应晶体管的制备工艺研究[J]. http://epub.edu.cnki.net/grid2008/brief/detailj.aspx?filename=BDTQ200802009&dbname=CJFQ2008,2012, 2012.
APA	黄改燕,陈长鑫,&张亚非.(2012).单壁碳纳米管场效应晶体管的制备工艺研究.http://epub.edu.cnki.net/grid2008/brief/detailj.aspx?filename=BDTQ200802009&dbname=CJFQ2008.
MLA	黄改燕,et al."单壁碳纳米管场效应晶体管的制备工艺研究".http://epub.edu.cnki.net/grid2008/brief/detailj.aspx?filename=BDTQ200802009&dbname=CJFQ2008 (2012).