一种新型挠性轴内置式扭摆微加速度计的设计

CORC > 西北工业大学

	一种新型挠性轴内置式扭摆微加速度计的设计
	崔金强 ; 姜澄宇 ; 苑伟政 ; 常洪龙 ; 蒋庆华
	2012-04-24 ; 2012-04-24
会议名称	中国北京第十届全国敏感元件与传感器学术会议
关键词	硅微加速度计挠性轴内置闭环仿真开环测试
中文摘要	针对扭摆式加速度计的结构特点,为了有效利用硅片面积和提高质量块质量,设计了一种新型挠性轴内置于质量块的扭摆式加速度计,该结构具有检测电极和力反馈电极。根据结构设计参数,推导出中心敏感电容、等效质量、机械灵敏度的参数表达式。利用扭摆加速度计的数学模型,建立了加速度计表头系统级模型,并结合接口电路进行闭环整体仿真,调整校正环节参数,得到闭环系统性能指标。最后进行初步开环测试,测得加速度计的灵敏度为33 mV/g,非线性度2．29%。
会议录	http://epub.edu.cnki.net/grid2008/brief/detailj.aspx?filename=ZGHU200708001076&dbname=CPFD2008
语种	中文
内容类型	会议论文
源URL	[http://ircloud.calis.edu.cn/hdl/261030/1420]
专题	西北工业大学
推荐引用方式 GB/T 7714	崔金强,姜澄宇,苑伟政,等. 一种新型挠性轴内置式扭摆微加速度计的设计[C]. 见:中国北京第十届全国敏感元件与传感器学术会议.