微型热敏传感器的薄膜电阻设计研究

CORC > 西北工业大学

	微型热敏传感器的薄膜电阻设计研究
	刘奎 ; 苑伟政 ; 邓进军 ; 马炳和 ; 姜澄宇
	2012-04-24 ; 2012-04-24
会议名称	中国大连中国微米、纳米技术第七届学术会年会
关键词	微型传感器热敏元件薄膜电阻电阻温度系数
中文摘要	应用微型热敏传感器薄膜电阻的电阻温度系数设计方法,得到基于热敏电阻的电阻温度系数的计算和设计参数。结合针对流体壁面剪应力测量的应用要求,分析多晶硅和铂金属热敏电阻的优缺点,并且对试验电阻进行电阻温度系数和时间常数的分析计算,依据计算结果确定微型热敏传感器薄膜电阻的基体材料、薄膜材料和特征尺寸等参数,为微型热敏传感器的实际应用提供参考依据和分析方法。
会议录	中国机械工程杂志社 ; http://epub.edu.cnki.net/grid2008/brief/detailj.aspx?filename=ZGVE200508002068&dbname=CPFD2005
语种	中文
内容类型	会议论文
源URL	[http://ircloud.calis.edu.cn/hdl/261030/1412]
专题	西北工业大学
推荐引用方式 GB/T 7714	刘奎,苑伟政,邓进军,等. 微型热敏传感器的薄膜电阻设计研究[C]. 见:中国大连中国微米、纳米技术第七届学术会年会.