| 应用于准分子激光的透镜阵列均束器 | |
| 陈涛 ; 左铁钏 | |
| 2012-04-13 ; 2012-04-13 | |
| 关键词 | 准分子激光 积分 均束 透镜阵列 能量 掩膜 |
| 中文摘要 | 设计了一套基于积分原理的准分子激光透镜阵列均束系统。通过对 18 块 4 mm×40 mm的柱面透镜叠放,组成9×9级的透镜阵列,将光束分成81束,彼此独立传播,实现了对准分子激光原始光束分束、放大。随后利用收集透镜将每束光叠加在同一位置,得到了在13 mm×13 mm范围内能量均匀度误差小于±5.00的光强分布。克服了原始光斑内部能量分布不够均匀的缺点,达到了准分子激光掩模投影加工的光束质量要求。相比于激光直写的加工方式,提高了加工效率。 |
| 原文出处 | http://guest.cnki.net/grid2008/brief/detailj.aspx?filename=GDZJ200503006&dbname=CJFQ2005 |
| 内容类型 | 期刊论文 |
| 源URL | [http://hdl.handle.net/123456789/17290]  |
| 专题 | 北京工业大学 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 陈涛,左铁钏. 应用于准分子激光的透镜阵列均束器[J],2012, 2012. |
| APA | 陈涛,&左铁钏.(2012).应用于准分子激光的透镜阵列均束器.. |
| MLA | 陈涛,et al."应用于准分子激光的透镜阵列均束器".(2012). |
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