| 利用光波导进行准分子激光打孔的加工系统研究 | |
| 陈涛 ; 刘世炳 | |
| 2012-04-13 ; 2012-04-13 | |
| 关键词 | 准分子激光打孔 光波导 掩模 |
| 中文摘要 | 分析了现有准分子激光打孔系统的优缺点,研究了对经过光波导的光束进行掩模打孔的一套加工系统。对光波导的制作进行了分析,并进行了一系列实验,文中给出了试验结果和分析。 |
| 原文出处 | http://guest.cnki.net/grid2008/brief/detailj.aspx?filename=JGZZ200603039&dbname=CJFQ2006 |
| 内容类型 | 期刊论文 |
| 源URL | [http://hdl.handle.net/123456789/17190]  |
| 专题 | 北京工业大学 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 陈涛,刘世炳. 利用光波导进行准分子激光打孔的加工系统研究[J],2012, 2012. |
| APA | 陈涛,&刘世炳.(2012).利用光波导进行准分子激光打孔的加工系统研究.. |
| MLA | 陈涛,et al."利用光波导进行准分子激光打孔的加工系统研究".(2012). |
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