非导电材料元素X-射线显微分析的补偿和校正方法 | |
吉元 | |
2012-04-13 ; 2012-04-13 | |
关键词 | 环境扫描电镜(ESEM) X-射线能量分散谱(EDS) 荷电效应 非导电陶瓷 |
中文摘要 | 本文分析了在环境扫描电镜中,Al2O3等非导电陶瓷样品的荷电效应和环境压力对X-射线能谱仪(EDS)元素分析造成的影响。研究了相应的补偿和校正方法。在高真空模式下,荷电效应使氧含量明显增加。采用低真空模式(LV)消除了荷电效应和减小了表面电势,因而减小了EDS的测量误差。在LV模式中采用X-射线压力限制光阑(PLA)杯,减小了电子束的裙散效应,使EDS的测量误差进一步减小。较高的压力环境增加了对电子束和低能X-射线的散射作用,使EDS的测量误差明显增加。 |
原文出处 | http://guest.cnki.net/grid2008/brief/detailj.aspx?filename=ZKKX200901023&dbname=CJFQ2009 |
其他责任者 | Zhang, Yinqi ; Ji, Yuan ; Wang, Li ; Wei, Bin ; Dai, Lin ; Shi, Jiaxin ; Zhang, Hong |
内容类型 | 期刊论文 |
源URL | [http://hdl.handle.net/123456789/16747] |
专题 | 北京工业大学 |
推荐引用方式 GB/T 7714 | 吉元. 非导电材料元素X-射线显微分析的补偿和校正方法[J],2012, 2012. |
APA | 吉元.(2012).非导电材料元素X-射线显微分析的补偿和校正方法.. |
MLA | 吉元."非导电材料元素X-射线显微分析的补偿和校正方法".(2012). |
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