| 聚焦离子束扫描电镜双束系统在材料研究中的应用 | |
| 王榕 ; 杨文言 ; Wang Rong ; Yang Wenyan | |
| 2016-03-30 ; 2016-03-30 | |
| 关键词 | 聚焦离子束扫描电镜(FIB) 双束系统 应用 focused ion beam scanning electron microscope(FIB) dual beam application TH742 |
| 其他题名 | Applications of focused ion beam scanning electron microscopy dual beam system in materials research |
| 中文摘要 | 近年来,聚焦离子束扫描电子显微镜(FIB)因具有独一无二的优势,广泛应用于材料科学、微纳加工、半导体器件制造中。尤其是其精密加工和定位加工的特点,获得了众多研究者的青睐。本文介绍了聚焦离子束电镜双束系统在材料研究中的几种应用。; In recent years,focused ion beam scanning electron microscope(FIB)become a new method in material science,micro-nanofabrication,semiconductor device manufacturing applications becouse of its unique advantage.In this paper,the applications of FIB dual beam system in material research was introduced. |
| 语种 | 中文 ; 中文 |
| 内容类型 | 期刊论文 |
| 源URL | [http://ir.lib.tsinghua.edu.cn/ir/item.do?handle=123456789/144658]  |
| 专题 | 清华大学 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 王榕,杨文言,Wang Rong,等. 聚焦离子束扫描电镜双束系统在材料研究中的应用[J],2016, 2016. |
| APA | 王榕,杨文言,Wang Rong,&Yang Wenyan.(2016).聚焦离子束扫描电镜双束系统在材料研究中的应用.. |
| MLA | 王榕,et al."聚焦离子束扫描电镜双束系统在材料研究中的应用".(2016). |
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