| 用于射频领域的MEMS无源LC滤波器设计研究 | |
| 方杰 ; 刘泽文 ; 陈忠民 ; 刘理天 ; 李志坚 ; Fang Jie ; Liu Zewen ; Chen Zhongmin ; Liu Lilian ; Li Zhijian | |
| 2010-07-15 ; 2010-07-15 | |
| 会议名称 | 中国微米、纳米技术第七届学术会年会论文集（一） ; 中国微米、纳米技术第七届学术会年会 ; 中国大连 ; CNKI ; 中国机械工程学会 |
| 关键词 | 射频 MEMS 无源滤波器 集总模型 RF MEMS LC filter lumped modeling TN713 |
| 其他题名 | Design of a RF MEMS Passive LC Filter |
| 中文摘要 | 介绍了一种利用MEMS工艺实现的用于射频领域的无源LC低通滤波器的设计、仿真和制作。该低通滤波器(LPF)采用三阶Chebyshev最少电容原型结构,设计参数为:-3dB带宽为3GHz,插入损耗小于2dB。基于MEMS无源元件(电容和电感)的集总物理模型,实现了对LPF实际性能的等效电路仿真,同时进行了版图和结构的验证。利用MEMS工艺实现的低通滤波器,其-3dB带宽和通带内插入损耗分别为2.925GHz和1.2dB(在1GHz下),制作工艺与标准CMOS工艺兼容。; The design, simulation and fabrication of a RF MEMS LC low -pass filter were presented. The LPF design was based on a basic minimum capacitor prototype structure, with -3dB bandwidth of 3GHz and midband insertion loss of less than 2dB. According to the physical model of on-chip MEMS inductors and MIM capacitors, the equivalent circuit of LPF was simulated and verified with layout and structural simulation. The LPF was accomplished with MEMS process, which is compatible with standard CMOS IC technology. Measurement results give - 3dB bandwidth of 2. 925GHz and midband insertion loss of 1. 2dB at 1GHz.; 国家重点基础研究发展计划资助项目(G1999033105) |
| 会议录出版者 | 中国机械工程杂志社 |
| 语种 | 中文 ; 中文 |
| 内容类型 | 会议论文 |
| 源URL | [http://hdl.handle.net/123456789/70703]  |
| 专题 | 清华大学 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 方杰,刘泽文,陈忠民,等. 用于射频领域的MEMS无源LC滤波器设计研究[C]. 见:中国微米、纳米技术第七届学术会年会论文集（一）, 中国微米、纳米技术第七届学术会年会, 中国大连, CNKI, 中国机械工程学会. |
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