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	压阻式压力传感器零点输出及其温漂研究
	许东华 ; 林惠旺 ; 张兆华 ; 谭智敏 ; 刘理天 ; XU Dong-hua ; LIN Hui-wang ; ZHANG Zhao-hua ; TAN Zhi-min ; LIU Li-tian
	2010-07-15 ; 2010-07-15
会议名称	第十届全国敏感元件与传感器学术会议论文集 ; 第十届全国敏感元件与传感器学术会议 ; 中国北京 ; CNKI ; 全国敏感元件与传感器学术团体联合组织委员会
关键词	压阻式 压力传感器 零点输出 零点温漂 piezoresistive pressure sensor offset output offset temperature drift TP212.1
其他题名	Research of Offset and Its Temperature Drift of Piezoresistive Pressure Sensor
中文摘要	零点输出及零点温漂是传感器制造中的重要指标。结合设计制作的压阻式压力传感器重点分析了零点输出的产生机理,并对其接头和布线失配、复合层结构造成的应力分布、光刻随机误差造成的电阻失配及其他效应进行了量的分析。同时分析了它们对零点温漂的影响。最后,给出了一种整体设计流程来控制零点输出与提高成品率。; Offset and its temperature drift are the important parameters in sensor fabrication.The mechanism and quantitative analysis of offset was described with the piezoresistive pressure sen- sot.There are four aspects in all:connection and wiring mismatch,stress caused by multiple lay- ers,resistor mismatch caused by lithography random error and other effects,whose influence on offset temperature drift was also analysed.Finally,a full design flow was provided for controlling offset and improving yield.; 浙江省科技攻关重大专项支持(2005C11015); 北京市科委项目(GYYKW0507009)
语种	中文 ; 中文
内容类型	会议论文
源URL	[http://hdl.handle.net/123456789/70116]
专题	清华大学
推荐引用方式 GB/T 7714	许东华,林惠旺,张兆华,等. 压阻式压力传感器零点输出及其温漂研究[C]. 见:第十届全国敏感元件与传感器学术会议论文集, 第十届全国敏感元件与传感器学术会议, 中国北京, CNKI, 全国敏感元件与传感器学术团体联合组织委员会.

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