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	类金刚石薄膜制备及能量影响的理论研究
	马天宝 ; 胡元中 ; 王慧 ; MA Tian-bao ; HU Yuan-zhong ; WANG Hui
	2010-07-15 ; 2010-07-15
会议名称	2006全国摩擦学学术会议论文集（一） ; 2006全国摩擦学学术会议 ; 中国黑龙江哈尔滨 ; CNKI ; 中国机械工程学会摩擦学分会
关键词	DLC 膜 分子动力学模拟 sp~3杂化比例 DLC film molecular dynamics simulation sp~3 hybridization fraction TB43
其他题名	Theoretical study of the preparation and energy dependence of diamond like carbon thin films
中文摘要	利用分子动力学模拟方法研究了2～3nm 厚的类金刚石(DIE)薄膜的静态结构和动态生长过程．在静态结构方面,计算了类金刚石薄膜的重要结构参数,如薄膜密度、sp~3杂化比例等,以及其受不同入射能量的影响．载能原子入射是生长均匀、连续、致密固体薄膜的前提,入射原子能量在20～60eV 时,薄膜可以获得最优性能．在动态生长过程方面,按照运动特点把入射原子行为分为表面冷冻、迁移、注入和反弹几种模式, 利用统计分析手段给出了入射能量对沉积原子表面行为的影响,提出了避免岛状生长的措施．; Molecular dynamics simulations are performed to study the static structure and dynamic growth process of diamond like carbon(DLC)films with a thickness of 2～3nm.For static properties,some impor- tant structural parameters of the deposited films,such as film densities,sp~3 hybridization fractions,are ana- lyzed,as well as their energy dependence.Incidences of energetic species are the precondition to grow homo- geneous,continuous and compact films,and optimal properties are obtained when kinetic energy of the inci- dent atoms is in the range 20～60eV.For dynamic growth process,the behaviors of incident atoms are classi- fied into four categories:surface freezing,migration,implantation and rebounding.Energy dependence of sur- face behaviors of deposited atoms is also analyzed in a statistical manner and guidelines are provided to avoid island structure during growth process.; 国家自然科学基金(50390060); 国家重点基础研究发展规划资助项目(2003CB716201)．
会议录出版者	《哈尔滨工业大学学报》编辑部
语种	中文 ; 中文
内容类型	会议论文
源URL	[http://hdl.handle.net/123456789/67908]
专题	清华大学
推荐引用方式 GB/T 7714	马天宝,胡元中,王慧,等. 类金刚石薄膜制备及能量影响的理论研究[C]. 见:2006全国摩擦学学术会议论文集（一）, 2006全国摩擦学学术会议, 中国黑龙江哈尔滨, CNKI, 中国机械工程学会摩擦学分会.

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