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	MEMS中气体运动的若干微尺度效应
	朱克勤 ; Dambricourt Pierre ; 郝鹏飞 ; Zahid Wasif Ali ; 尹游兵 ; ZHU Ke-qin ; DAMBRICOURT Pierre ; HAO Pen-fei ; Zahid Wasif ; Ali YIN
	2010-07-15 ; 2010-07-15
会议名称	非定常空气动力学研讨会论文选集 ; 非定常空气动力学研讨会 ; 中国北京 ; CNKI ; 中国空气动力学会
关键词	微喷管 微槽道 分子泵 稀薄气体效应 micro nozzle micro channel molecular pump effect of rarefied gas O357.1
其他题名	Some microscale effects of gas flows in MEMS
中文摘要	宏观流动到微流动不单是"量"的变化,而且有"质"的不同"。在微流动中,由于微尺度效应,主导流动的作用力发生变化,惯性力不再占主导地位;在宏观尺度流动中可以忽略的表面效应和壁面滑移等现象,开始凸现出来,这就导致了微流动中出现了与宏观流动不同的现象和规律。本文研究微流动问题中的若干微尺度效应:包括微喷管中气体流动的特性、微槽道中的稀薄气体效应和分子泵内的流动问题。这些研究对于设计和开发新的微机械机电设备是非常重要的。; The difference between macroscopic flows and microscopic flows is not only a matter of scale,for these two flows are basically different in nature.In the latter case,the main acting forces are highly perturbed by microscale effects,and inertial forces lose their pre.dominant role.Moreover,surface effects and wall slip that can both be neglec- ted on the maeroscale become prominent,leading to the emergence of new phenomena and new governing rules.In this article the influence of several mieroscale effects are illustrated through the following studies:properties of gas flow in a micro-nozzle,effect of rarefaction in a micro-channel gas flow,properties of fluid flows in a molecular pump. These studies are of fundamental importance for the design and development of new Micro Eleetromechanical System.; 国家自然科学基金资助项目(10772097)．
会议录出版者	空气动力学学报编辑委员会
语种	中文 ; 中文
内容类型	会议论文
源URL	[http://hdl.handle.net/123456789/66982]
专题	清华大学
推荐引用方式 GB/T 7714	朱克勤,Dambricourt Pierre,郝鹏飞,等. MEMS中气体运动的若干微尺度效应[C]. 见:非定常空气动力学研讨会论文选集, 非定常空气动力学研讨会, 中国北京, CNKI, 中国空气动力学会.

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