平面行星夹具的物理气相沉积均匀性计算

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	平面行星夹具的物理气相沉积均匀性计算
	方明 ; 范正修 ; 黄建兵
刊名	计算物理
	2006
卷号	23 期号:6 页码:738
关键词	薄膜淀积均匀性平面行星夹具计算机模拟
ISSN号	1001-246X
其他题名	Numerical simulation of a flat planetary fixture for physical vapor deposition
中文摘要	建立了平面行星夹具薄膜淀积无量纲模型。通过对蒸发源位置LIH、行星主轴与副轴距离PIH、夹角倾角A以及蒸发源蒸汽发射特性N等因素的分析，得到了典型径向理论均匀的优化几何配置．并从优化几何配置的膜料效率、角向均匀性和膜厚分布对蒸发源蒸汽发射特性变化的敏感性方面评价优化结果，得到了最优化设计区域．结果表明，优化配置的LIH＋PIH小，则角分布差异小；LIH＋PIH和A小，则膜料效率高；L〈P，A=15°时，优化配置对N变化最不敏感；L〉P时，由N变化引起的典型径向分布变化小于0．5％．
学科主题	光学薄膜
分类号	TN305.8
收录类别	ei
语种	中文
公开日期	2009-09-22
内容类型	期刊论文
源URL	[http://ir.siom.ac.cn/handle/181231/4328]
专题	上海光学精密机械研究所_光学薄膜技术研究与发展中心
推荐引用方式 GB/T 7714	方明,范正修,黄建兵. 平面行星夹具的物理气相沉积均匀性计算[J]. 计算物理,2006,23(6):738, 742.
APA	方明,范正修,&黄建兵.(2006).平面行星夹具的物理气相沉积均匀性计算.计算物理,23(6),738.
MLA	方明,et al."平面行星夹具的物理气相沉积均匀性计算".计算物理 23.6(2006):738.