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	面向膜电极的选择性生成纳米级多孔硅技术的研究
	王温静 ; 王晓红 ; 姜英琪 ; 胡小龙 ; 刘理天 ; WANG Wen-jing ; WANG Xiao-hong ; JIANG Yin-qi ; HU Xiao-long ; LIU Li-tian
	2010-06-09 ; 2010-06-09
关键词	多孔硅 微型燃料电池 膜电极 porous silicon micro fuel cell MEA TN304.05
其他题名	Investigation of Selectively Forming Nano-Porous Silicon for the application of MEA
中文摘要	研究了面向微型燃料电池膜电极的多孔硅薄膜的制备工艺.多孔硅刻蚀工艺高效便宜,与标准CMOS工艺兼容.通过选择不同的衬底掺杂浓度和适当的电解液浓度能控制纳米(或微米)级多孔硅的孔径大小,得到适用于膜电极的纳米级孔径的多孔硅薄膜,证实了纳米级多孔硅可用于硅微燃料电池中膜电极的可能性.; Study of the formation of porous silicon is performed. The porous wafers are produced by deep anodic etching which is a very effective and cheap fabrication method compatible to standard Si CMOS fabrication technology. The density of nano- (and micro-) pores can be varied in a wide range by choice of substrate doping level and appropriate electrolyte solution. Therefore the nano-porous silicon membrane is obtained, demonstrating the possibility of the use of nano-porous silicon as a proton electrolytic membrane (PEM) material for micro-fuel cell applications.; 国家自然科学基金项目资助(90207023)
语种	中文 ; 中文
内容类型	期刊论文
源URL	[http://hdl.handle.net/123456789/56941]
专题	清华大学
推荐引用方式 GB/T 7714	王温静,王晓红,姜英琪,等. 面向膜电极的选择性生成纳米级多孔硅技术的研究[J],2010, 2010.
APA	王温静.,王晓红.,姜英琪.,胡小龙.,刘理天.,...&LIU Li-tian.(2010).面向膜电极的选择性生成纳米级多孔硅技术的研究..
MLA	王温静,et al."面向膜电极的选择性生成纳米级多孔硅技术的研究".(2010).

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