| 基于自动调焦显微视觉的MEMS运动测量技术 | |
| 郑汉卿 ; 王伯雄 ; 余超 ; 罗秀芝 ; ZHENG Hanqing ; WANG Boxiong ; YU Chao ; LUO Xiuzhi | |
| 2010-06-08 ; 2010-06-08 | |
| 关键词 | 微机电系统(MEMS) 显微视觉 自动调焦 频闪成像 亚像素算法 micro-electro-mechanical systems (MEMS) microvision autofocus stroboscopic imaging subpixel algorithm TM938.8 |
| 其他题名 | Motion measurement technique for MEMS devices based on autofocus and microvision |
| 中文摘要 | 为了对微机电系统(MEMS)的机械动态性能进行测试,结合自动调焦、机器显微视觉和频闪照明成像等多项技术,设计了基于自动调焦显微视觉的MEMS动态测试系统,可进行MEMS平面运动和离面运动的测量。该文介绍了系统的设计组成和关键技术,并针对系统做了验证性实验。实验结果表明,平面亚像素位移算法的匹配精度可达1/50个像素,在系统25倍的放大倍率下,平面刚体运动测量分辨率达到7.2nm×8.3nm;自动调焦过程迅速,焦平面定位精确,离面运动测量分辨率达到0.1μm。; A dynamic testing system for micro-electro-mechanical systems (MEMS) devices was developed which combines autofocus and machine microvision with stroboscopic imaging to measure in-plane and out-of-plane motions of MEMS devices. Verification experiments show that the matching accuracy of the subpixel motion estimation algorithm is 1/50 pixel, and the measuring resolution of the in-plane motion is 7.2 nm×8.3 nm when the system is magnified 25 times. The autofocus process is fast and accurate, and the measuring resolution of the out-of-plane motion is better than 0.1 μm.; 国家“八六三”高技术项目(2005AA411914) |
| 语种 | 中文 ; 中文 |
| 内容类型 | 期刊论文 |
| 源URL | [http://hdl.handle.net/123456789/49745]  |
| 专题 | 清华大学 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 郑汉卿,王伯雄,余超,等. 基于自动调焦显微视觉的MEMS运动测量技术[J],2010, 2010. |
| APA | 郑汉卿.,王伯雄.,余超.,罗秀芝.,ZHENG Hanqing.,...&LUO Xiuzhi.(2010).基于自动调焦显微视觉的MEMS运动测量技术.. |
| MLA | 郑汉卿,et al."基于自动调焦显微视觉的MEMS运动测量技术".(2010). |
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