埃分辨率的激光系统及其在材料电致形变测量中的应用

CORC > 清华大学

	埃分辨率的激光系统及其在材料电致形变测量中的应用
	朱鹤年 ; 张培林
刊名	http://epub.edu.cnki.net/grid2008/brief/detailj.aspx?filename=JJZZ1983Z1219&dbname=CJFQ1983
	2012-04-22 ; 2012-04-22
关键词	分辨率微位移测量激光测量系统偏振光干涉仪改变量微致动器低膨胀系数测微仪测量光束频率分量
中文摘要	<正> 微位移测量可应用于微定位、测微仪校准、微致动器标定、低膨胀系数测量、微形变检测等许多技术领域。我们研制的具有一埃分辨率的激光测量系统,用频差波动小的稳定的He-Ne纵向塞曼(双频)激光器作光源,光学装置采用经过精确调整的迈克尔逊型双频偏振光干涉仪的光路,测出测量光和参考光的拍频信号间相位差的改变量,就可得知可动反射器的位移。理想情况下与光程差改变量成正比,且测量光束两正交偏振方向各有一个频率分量,
语种	中文
其他责任者	清华大学物理系
内容类型	期刊论文
源URL	[http://ir.calis.edu.cn/hdl/211310/1758]
专题	清华大学
推荐引用方式 GB/T 7714	朱鹤年,张培林. 埃分辨率的激光系统及其在材料电致形变测量中的应用[J]. http://epub.edu.cnki.net/grid2008/brief/detailj.aspx?filename=JJZZ1983Z1219&dbname=CJFQ1983,2012, 2012.
APA	朱鹤年,&张培林.(2012).埃分辨率的激光系统及其在材料电致形变测量中的应用.http://epub.edu.cnki.net/grid2008/brief/detailj.aspx?filename=JJZZ1983Z1219&dbname=CJFQ1983.
MLA	朱鹤年,et al."埃分辨率的激光系统及其在材料电致形变测量中的应用".http://epub.edu.cnki.net/grid2008/brief/detailj.aspx?filename=JJZZ1983Z1219&dbname=CJFQ1983 (2012).